瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

產(chǎn)品簡介

瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002
型號解析（VAT命名規(guī)則）
代碼段含義
01034系列：小口徑高真空角閥
KE01法蘭類型：ISO-KF16（DN16）
0002配置代碼：帶氣動執(zhí)行器+位置傳感器

更新時間：2025-07-02

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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詳細介紹

品牌	其他品牌	應用領域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

1. 型號解析（VAT命名規(guī)則）

代碼段	含義
01034	系列：小口徑高真空角閥
KE01	法蘭類型：ISO-KF16（DN16）
0002	配置代碼：帶氣動執(zhí)行器+位置傳感器

2. 核心參數(shù)

參數(shù)	規(guī)格
真空范圍	10?? ~ 1000 mbar
泄漏率	≤1×10?? mbar·L/s（金屬密封）
閥體材質(zhì)	不銹鋼316L（EP拋光）
密封選項	全金屬密封 / FFKM彈性體
驅(qū)動方式	氣動雙作用（4~6 bar）
響應時間	≤0.3秒（開/關）
溫度范圍	-200℃~250℃（標準型）

3. 結構特點

零泄漏設計：

金屬波紋管傳動（無動態(tài)密封泄漏風險）
錐面閥座密封（10?? mbar級密封）

智能反饋：

集成磁耦位置傳感器（PNP輸出）
LED狀態(tài)指示燈（紅/綠雙色）

4. 典型應用

分析儀器：

質(zhì)譜儀進樣系統(tǒng)隔離
電子顯微鏡樣品室

半導體：

晶圓傳輸模塊（EFEM）
刻蝕設備氣體通路控制

5. 安裝規(guī)范

法蘭連接：

扭矩限制：5 Nm（ISO-KF16卡箍）
密封圈：無氧銅墊圈（P/N: VAT-CU16）

氣路要求：

驅(qū)動氣體：氮氣或氬氣（純度≥99.999%）
管路過濾：0.1μm過濾器

6. 電氣接口

端子	功能
1（棕色）	24V DC+
2（藍色）	0V
3（黑色）	閥開信號（PNP）
4（白色）	閥關信號（PNP）

7. 維護周期

項目	操作	周期
密封面檢查	白光干涉儀檢測	1年/10?次循環(huán)
波紋管壽命	氦檢漏測試	5年或10?次循環(huán)
位置傳感器校準	閥位反饋調(diào)整	2年

8. 故障診斷

代碼	含義	處理方案
E01	傳感器信號丟失	檢查磁耦對齊
E03	氣壓不足	確認驅(qū)動壓力≥4 bar
E05	超溫報警	檢查環(huán)境溫度是否超標

9. 替代方案

品牌/型號	差異點
VAT 01034-KE01-0001	無位置傳感器
Pfeiffer EVR 116	電動執(zhí)行器，響應較慢
NorCal UHV-16	價格低25%，泄漏率略高

該型號標準交貨期12周。如需超高真空版（10?11 mbar）或無磁版本，需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列電磁閥組實現(xiàn)自動控制。

瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

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1. 型號解析（VAT命名規(guī)則）

2. 核心參數(shù)

3. 結構特點

4. 典型應用

5. 安裝規(guī)范

6. 電氣接口

7. 維護周期

8. 故障診斷

9. 替代方案

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